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在一定真空度的气体中通过电极加载电场,气体被击穿形成等离子体,出现辉光放电现象,即有气体原子被离子化的过程是指( )过程。


A、等离子体产生
B、离子轰击靶
C、靶原子气相输运
D、淀积成膜

发布时间:2023-09-27 10:47:06
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