微型机电系统(Micro Electro Mechanical Systems, MEMS) 是指集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理、控制电路、接口、通讯和电源等于一体的( )或综合体。 A、微型机电器件B、微光学器件C、微电子器件D、微机械器件 发布时间:2023-07-26 05:39:39